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    上海飛魯真空泵廠有限公司
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    ZLS-23型氦質譜檢漏儀

    此儀器是一種單級180°磁偏轉型儀器。結構小巧,便于移動,對機械泵及擴散泵冷卻風扇采取了減振措施,離子流的前級放大器使用了DC-4B靜電計管.儀器靈敏度高。
    (1)性能指標
    靈敏度:不用液氮,調整閥完全打開時為6.7x10-8Pa·L/s,用液氮,部分關閉調速閥時為10-10Pa·L/s;
    反應時間:不大于3s;
    質譜室工作壓力:低于10-2Pa;
    儀器啟動時間:不大于2h;
    液氮消耗:1L/24h;
    人口法蘭處的抽速:5L/s;
    功率消耗:1kW。
    (2)儀器主要組成(圖1)
    質譜室:氦離子軌道半徑R=10mm,磁場強度H=175kA/m-199kA/m,離子加速電壓為100V左右。質譜室內有:陰極、離化室、加速極(引出極)、中間縫隙、抑制柵、收集極、放大器前級靜電計管DC-4B及高電阻。
    真空系統:前級泵是2X-0.5型機械泵。主泵是抽速為120L/s的風冷三級油擴散泵,泵口設有擋油板,擴散泵的功率用負反饋可控硅控制電路來調節,使加熱電流可穩定在±5%之內,從而保證抽速的穩定。系統共有五個閥門:三個電磁閥,兩個手動閥。節流閥裝在外接法蘭與質譜室之間,用來控制質譜室內的工作壓力;粗抽閥用于預抽被檢件;放氣閥用于對機械泵和質譜室放大氣;抽速閥用于調節主泵對質譜室的抽速,它與冷阱配合可使儀器的靈敏度進人10-1OPa.L/s數量級,此閥還可以使質譜室與擴散泵隔離,以便在不停擴散泵的情況下對質譜室進行檢修。此外,因擴散泵開始加熱和停止加熱的20min內反油率較大,關閉此閥可減少油蒸氣對質譜室的污染;前置閥可使機械泵與擴散泵隔離;在前置閥與擴散泵之間有一個容積為1.25L的貯氣罐,用于穩定擴散泵的前級壓力。當前置閥關閉后,擴散泵可以繼續工作20min。高真空部分有一個容量為1L的液氮冷阱,加人液氮可縮短系統的抽氣時間,以及防
    止由被檢件產生的水蒸氣、油蒸氣及其它污物對質譜室的污染。冷阱加人液氮后,可關小抽速閥,減少儀器的本底和噪聲,提高儀器的靈敏度。真空系統高真空部分的真空度用潘寧規測量,前級壓力用熱阻規測量。
    供電線路:包括離子流放大器、音響裝置、離子源電源、潘寧規電源、真空保護繼電器、擴散泵加熱的可控硅穩流源、電磁閥電源等。

    儀器組成圖

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